RF MEMS 부품 연구 개발 동향
RF(Radio Frequency) MEMS 기술은 차세대 정보통신산업 을 이끌어갈 핵심 전략 기술로 인정되어 전 세계적으로 활발히 연구되고 있다. RF MEMS 기술은 쉽게 풀이하자면 MEMS 기 술을 휴대형 정보기기, 이동 및 무선 통신기기 등에 적용하여 소형화, 저가화, 경량화, 집적화, 그리고 고성능화 시키는 데 필 요한기술이다. 또한 이러한 기술들의 장점은 기존의 제품들에 적용되어 소 형화, 고성능화 그리고 저가격화 시키는 것을 뛰어넘어 다중밴 드/모드에서 동작하는 새로운 정보통신 부품 및 시스템의 창출 을가져오는데많은공헌을할것으로예상된다. 본 고에서는 여러 종류의 RF MEMS 부품 가운데 현재 가장 많은 연구가 이루어지고 있고 상업화 가능성이 높은 RF MEMS 스위치, high Q 인덕터, 그리고 FBAR 필터 및 듀플렉 서의 연구 개발 현황과 이들 부품들이 앞으로 이동 및 무선 통 신산업상용화되기위하여극복해야할문제점에대하여논의 해보고자한다